[发明专利]微差压传感器组件及电子设备在审
申请号: | 202210219121.X | 申请日: | 2022-03-08 |
公开(公告)号: | CN114608664A | 公开(公告)日: | 2022-06-10 |
发明(设计)人: | 谢国伟;颜培力;夏颖;朱伟琪;金怡 | 申请(专利权)人: | 上海矽睿科技股份有限公司 |
主分类号: | G01F1/34 | 分类号: | G01F1/34;G01F15/02;G01F15/14 |
代理公司: | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人: | 徐叶馨 |
地址: | 200050 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本申请提供一种微差压传感器组件及电子设备。微差压传感器组件包括基板、微机电系统MEMS模块、处理器和MOS管。MEMS模块包括第一温度检测单元、第二温度检测单元及加热单元,第一温度检测单元、第二温度检测单元及加热单元均设置于MEMS模块的感测区域。在本方案中,处理器基于第一温度检测单元、第二温度检测单元的温差,可以实现流量的高灵敏检测。另外,处理器基于该温差,可以通过MOS管控制受控模块的有效电流值,有利于提高对受控模块进行控制的精确度与可靠性。 | ||
搜索关键词: | 微差压 传感器 组件 电子设备 | ||
【主权项】:
暂无信息
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