[发明专利]微差压传感器组件及电子设备在审

专利信息
申请号: 202210219121.X 申请日: 2022-03-08
公开(公告)号: CN114608664A 公开(公告)日: 2022-06-10
发明(设计)人: 谢国伟;颜培力;夏颖;朱伟琪;金怡 申请(专利权)人: 上海矽睿科技股份有限公司
主分类号: G01F1/34 分类号: G01F1/34;G01F15/02;G01F15/14
代理公司: 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 代理人: 徐叶馨
地址: 200050 上海市*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 本申请提供一种微差压传感器组件及电子设备。微差压传感器组件包括基板、微机电系统MEMS模块、处理器和MOS管。MEMS模块包括第一温度检测单元、第二温度检测单元及加热单元,第一温度检测单元、第二温度检测单元及加热单元均设置于MEMS模块的感测区域。在本方案中,处理器基于第一温度检测单元、第二温度检测单元的温差,可以实现流量的高灵敏检测。另外,处理器基于该温差,可以通过MOS管控制受控模块的有效电流值,有利于提高对受控模块进行控制的精确度与可靠性。
搜索关键词: 微差压 传感器 组件 电子设备
【主权项】:
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