[发明专利]一种室温红外敏感薄膜的图案化方法

摘要

本发明公开了一种室温红外敏感薄膜的图案化方法，包括下列步骤：在衬底上依次旋涂聚甲基丙烯酸甲酯层、可溶性光刻胶层和正性光刻胶层，然后曝光显影，反应离子刻蚀，制作出三层胶结构。然后采用化学浴沉积法在衬底上沉积室温红外敏感薄膜，最后用丙酮去胶，剥离得到图案化的室温红外敏感薄膜。本发明采用聚甲基丙烯酸甲酯层，克服了光刻胶溶于碱性化学浴前驱体溶液的不足。采用丙酮剥离，避免了湿法腐蚀时强酸对衬底的腐蚀，以及干法刻蚀气体物理轰击对金属电极的刻蚀。本发明方法简便，尤其适用于碱性化学浴沉积室温红外敏感薄膜的图案化。