[发明专利]一种基于多层异质复合陶瓷薄膜的高温绝缘层及制备方法

摘要

本发明提供一种基于多层异质复合陶瓷薄膜的高温绝缘层及制备方法，该高温绝缘层包括合金基底；NiCoCrAlY过渡层，沉积形成于所述合金基底上；YSZ‑MgO中间层，沉积形成于所述NiCoCrAlY过渡层上；Al2O3原位生长结合层，形成于所述NiCoCrAlY过渡层与所述YSZ‑MgO中间层之间，所述Al2O3原位生长结合层通过原位生长方式形成；MgO绝缘层，沉积形成于所述YSZ‑MgO中间层上。本发明的复合绝缘层高温绝缘性能好、能实现发动机高温合金结构件的表面绝缘，为高温部件原位制备传感器件提供了可能。还具有工艺简便、厚度小、对被测场的影响小、制备成本低的特点。