[发明专利]声表面波谐振装置及形成方法、滤波装置、射频前端装置在审
| 申请号： | 202210224236.8 | 申请日： | 2022-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN114499444A | 公开（公告）日： | 2022-05-13 |
| 发明（设计）人： | 邹雅丽;王斌;韩兴;周建 | 申请（专利权）人： | 常州承芯半导体有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/25;H03H9/64 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 张瑞;徐文欣 |
| 地址： | 213166 江苏省常州市武*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种声表面波谐振装置及形成方法、滤波装置、射频前端装置，其中声表面波谐振装置，包括：压电基底；电极层，位于所述压电基底上；温度补偿层，位于所述电极层上；粒子注入部，位于所述压电基底或温度补偿层内。通过形成粒子注入部，以减慢声波在所述粒子注入部表面的传播速度，使谐振装置进入piston模态，从而可以抑制高阶模态下的横向寄生谐振。 | ||
| 搜索关键词： | 表面波 谐振 装置 形成 方法 滤波 射频 前端 | ||
【主权项】：
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