[发明专利]一种大功率射频电源在审
| 申请号： | 202210229381.5 | 申请日： | 2022-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN114567276A | 公开（公告）日： | 2022-05-31 |
| 发明（设计）人： | 张翔 | 申请（专利权）人： | 张翔 |
| 主分类号： | H03F3/68 | 分类号： | H03F3/68;H03F3/20;H03F3/189;H03F1/52;H03F1/56;H03F1/30 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 101100 北京市通*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种大功率射频电源，包括射频输入端和射频输出端，射频输入端和射频输出端之间并联设置至少两组功率模组，每个功率模组内串联设置滤波器、降压器和功率放大器。本发明能够提供一种兼顾快速高效率完成额定输出功率和安全的大功率射频电源。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 大功率 射频 电源 | ||
【主权项】：
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