[发明专利]一种纳米级弹性调节平台装置及其应用方法在审
| 申请号： | 202210239326.4 | 申请日： | 2022-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN114755090A | 公开（公告）日： | 2022-07-15 |
| 发明（设计）人： | 王会珍;庞祥超;唐斌 | 申请（专利权）人： | 南方科技大学 |
| 主分类号： | G01N3/02 | 分类号： | G01N3/02;G01N3/04;G01N3/08;G01N3/42 |
| 代理公司： | 深圳市创富知识产权代理有限公司 44367 | 代理人： | 曾敬 |
| 地址： | 518055 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种纳米级弹性调节平台装置及其应用方法，包括有表面敏感检测环和纳米压头，表面敏感检测环的端部嵌设有微电磁阀，纳米压头设于表面敏感检测环的内侧，纳米压头穿过微电磁阀。应用过程中，首先驱使表面敏感检测环运动，并使得纳米压头靠近样品，同时控制微电磁阀启动，利用微电磁阀将纳米压头锁定于表面敏感检测环上，当表面敏感检测环接触样品并且采集到接触力时，控制微电磁阀关闭，进而解除对纳米压头的锁定，再驱使纳米压头运动，使纳米压头的端部向表面敏感检测环的外侧伸出，借由压头对样品进行纳米压痕测试。相比现有技术而言，本发明易于确定初始接触点，有助于减少测试过程中的干扰，可有效降低操作难度以及减少误差。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 弹性 调节 平台 装置 及其 应用 方法 | ||
【主权项】：
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