[发明专利]一种基于立方氮化硼(c-BN) 单晶材料的肖特基-PN结二极管在审

专利信息
申请号: 202210240601.4 申请日: 2022-03-10
公开(公告)号: CN114613852A 公开(公告)日: 2022-06-10
发明(设计)人: 郑伟;林卓耿;朱思琪 申请(专利权)人: 中山大学
主分类号: H01L29/20 分类号: H01L29/20;H01L29/47;H01L29/861
代理公司: 深圳市创富知识产权代理有限公司 44367 代理人: 高冰
地址: 510275 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开了一种基于立方氮化硼(c‑BN)单晶材料的肖特基‑PN结二极管,所述肖特基‑PN结二极管包括c‑BN晶体、ITO薄膜和Au电极。其中,在所述c‑BN晶体的两侧分别镀上ITO薄膜和Au电极,再将Au与In焊接,作为外接导线。Au/c‑BN/ITO肖特基‑PN结二极管的理想因子为25.15,开启电压为5V。本发明基于c‑BN单晶的电子器件制备与分析提供了思路。
搜索关键词: 一种 基于 立方 氮化 bn 材料 肖特基 pn 二极管
【主权项】:
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