[发明专利]一种卷对卷真空镀膜机的控制系统及控制方法在审
| 申请号： | 202210240920.5 | 申请日： | 2022-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN114525469A | 公开（公告）日： | 2022-05-24 |
| 发明（设计）人： | 金湛;曹蔚琦;王亚栋;秦琴;夏文豪 | 申请（专利权）人： | 重庆诺奖二维材料研究院有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/02 | 分类号： | C23C14/02;C23C14/54;C23C14/56 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人： | 黄宗波 |
| 地址： | 400700 重*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本发明涉及真空镀膜领域，公开了一种卷对卷真空镀膜机的控制系统，控制系统包括第一控制器和第二控制器；第一控制器包括：真空泵组单元，用于对各个过渡腔室进行抽真空，使所有过渡腔室内的真空度由两侧往中间方向逐级增高，并使镀膜腔室内维持最高真空度；基材卷绕单元，用于镀膜前基材的放卷和镀膜后基材的收卷工作，使基材能够连续不断地通过所有过渡腔室和镀膜腔室；密封辊组单元，用于密封各个过渡腔室之间、以及末端过渡腔室的通口，使各个过渡腔室独立分隔开，并使基材能够顺利通过所有过渡腔室和镀膜腔室。本发明通过各个单元的相互配合，能够实现高质量、高效率的镀膜工艺。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空镀膜 控制系统 控制 方法 | ||
【主权项】：
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