[发明专利]电光装置和电子设备有效
申请号: | 202210241969.2 | 申请日: | 2022-03-11 |
公开(公告)号: | CN115079475B | 公开(公告)日: | 2023-05-02 |
发明(设计)人: | 横田智己;森田喜久哉 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
主分类号: | G02F1/1362 | 分类号: | G02F1/1362 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 马建军;李庆泽 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 电光装置和电子设备。实现如下的电光装置和电子设备:在利用在彼此交叉的方向上延伸的槽来增大电容元件的静电电容的情况下也够容易地填埋由于槽而引起的凹部。在电光装置的基板主体(19)形成有第1槽(191)和在与第1槽(191)交叉的方向上延伸的第2槽(192、193)。电容元件(55)由层叠膜(550)构成,层叠膜(550)包含在包含第1槽(191)和第2槽(192、193)的区域中依次层叠的第1导电膜(4a)、电介质膜和第2导电膜(5a)。在第1槽(191)和第2槽(192、193)交叉时,在蚀刻时,交叉部的宽度较宽,但在第1槽(191)和第2槽(192、193)分离等不交叉的情况下,不易产生宽度较宽的部分。因此,容易通过第1绝缘膜(41)填埋槽。 | ||
搜索关键词: | 电光 装置 电子设备 | ||
【主权项】:
暂无信息
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