[发明专利]紫外固化装置、衬底处理设备及衬底处理方法在审
| 申请号： | 202210244114.5 | 申请日： | 2022-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN115069518A | 公开（公告）日： | 2022-09-20 |
| 发明（设计）人： | 梁相熙;刘正必;崔锺权;白种化 | 申请（专利权）人： | AP系统股份有限公司 |
| 主分类号： | B05D3/06 | 分类号： | B05D3/06;B05D3/04;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 屈蓓;臧建明 |
| 地址： | 韩国京畿道华城市*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开涉及一种紫外固化装置、衬底处理设备及衬底处理方法。衬底处理方法包括：制备涂布有光固化材料的衬底；将衬底安置在衬底支撑件上；在衬底上方使用衬底的局部区域形成用于衬底的处理空间；在处理空间中形成惰性气体气氛；以及在其中形成有惰性气体气氛的处理空间中辐照紫外光。由于用于衬底的处理空间局部地形成在衬底上方，因此可改善衬底处理效率。 | ||
| 搜索关键词： | 紫外 固化 装置 衬底 处理 设备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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