[发明专利]一种CdIn靶材及其制备方法在审
| 申请号： | 202210245202.7 | 申请日： | 2022-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN114686826A | 公开（公告）日： | 2022-07-01 |
| 发明（设计）人： | 余飞;江佩庭;黄宇彬;童培云;朱刘 | 申请（专利权）人： | 先导薄膜材料（广东）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C22C20/00 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 王伟 |
| 地址： | 511517 广东省清*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种CdIn靶材及其制备方法，涉及靶材制备技术领域。本发明提供的CdIn靶材包括如下重量份数的组分：Cd 90‑99.9份和In 0.1‑10份，所述CdIn靶材的致密度大于99％。本发明所提供的CdIn合金靶材继承了金属Cd及金属In良好的金属性能，使得靶材在加工、运输、溅射过程，不会出现开裂或打火现象。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 cdin 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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