[发明专利]一种光刻机用混合光源发生装置有效
| 申请号： | 202210247408.3 | 申请日： | 2022-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN114488720B | 公开（公告）日： | 2022-08-30 |
| 发明（设计）人： | 王华;陈志特;吴中海;甘泉 | 申请（专利权）人： | 广东科视光学技术股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 深圳市华盛智荟知识产权代理事务所(普通合伙) 44604 | 代理人： | 胡国英 |
| 地址： | 523000 广东省东莞*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开一种光刻机用混合光源发生装置，包括安装轴、激光源、LED光源安装架；安装轴的底部安装有激光源，安装轴的底部设置有底环，底环的外壁与活动轴的底端活动连接，活动轴上设置有LED光源安装架，LED光源安装架上环形阵列设置有多个不同功率的LED光源，活动轴的上方套设有安装环，安装环通过活动杆与移动块连接；活动轴沿着安装轴环形阵列设置有多个；安装轴内腔的顶部设置有驱动气缸，驱动气缸的输出端与移动块连接，移动块环形阵列设置有多个限位活动块，限位活动块与活动杆活动连接；本发明的旋转机构与安装轴的调节相互配合，在多角度的情况下，可以对活动轴进行转动，调节出不同工艺要求的LED光源。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 混合 光源 发生 装置 | ||
【主权项】：
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