[发明专利]micro LED芯片的高通量多通道快速拉曼检测系统有效
| 申请号： | 202210257518.8 | 申请日： | 2022-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN114813697B | 公开（公告）日： | 2022-12-27 |
| 发明（设计）人： | 沈春生 | 申请（专利权）人： | 江苏暖阳半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/65 | 分类号： | G01N21/65;G01N21/01 |
| 代理公司： | 盐城汇聪知识产权代理事务所(普通合伙) 32581 | 代理人： | 杨勇 |
| 地址： | 224000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种micro LED芯片的高通量多通道快速拉曼检测系统，包括：检测平台；芯片放置单元，所述芯片放置单元通过姿态调整单元安装于所述姿态调整平台上，所述芯片放置单元上设有若干个用于放置芯片的存放腔室；拉曼探头组单元，所述拉曼探头组单元通过升降单元安装于所述检测平台上，所述拉曼探头组单元位于所述芯片放置单元上方，并一一对应各所述存放腔室设置。 | ||
| 搜索关键词： | micro led 芯片 通量 通道 快速 检测 系统 | ||
【主权项】：
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