[发明专利]一种光纤陀螺用铌酸锂光波导掩膜及其制备方法和应用有效
| 申请号： | 202210261150.2 | 申请日： | 2022-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN114325934B | 公开（公告）日： | 2022-06-10 |
| 发明（设计）人： | 段启航;范建强;徐金涛;刘尚波;李楼;杨广;曹辉;杨一凤;许慎诺;王嘉 | 申请（专利权）人： | 西安中科华芯测控有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/12 | 分类号： | G02B6/12;G02B6/122;G02B6/13;G02B6/134;G02B6/136 |
| 代理公司： | 西安正华恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 61271 | 代理人： | 傅晓 |
| 地址： | 710065 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种光纤陀螺用铌酸锂光波导掩膜及其制备方法和应用，该方法包括以下步骤：在铌酸锂基片上制作二氧化硅薄膜后，然后在二氧化硅薄膜表面涂布负性光刻胶，再进行光刻，形成光刻胶图案；将形成光刻胶图案的铌酸锂基片进行紫外老化、热老化，再对热老化后的铌酸锂基片进行清洗、刻蚀，最后去除光刻胶，制得光纤陀螺用铌酸锂光波导掩膜。本发明降低了二氧化硅掩膜边缘的粗糙度，减少了波导窗口处点状缺陷的数量，在不增加额外设备的前提下，提升了二氧化硅掩膜质量，降低了质子交换铌酸锂光波导的散射损耗，其散射损耗为0.04‑0.07dB/cm，达到了降低器件插入损耗、降低残余强度调制、提升高低温稳定性的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光纤 陀螺 用铌酸锂光 波导 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于西安中科华芯测控有限公司，未经西安中科华芯测控有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202210261150.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
