[发明专利]一种用于LCD/OLED面板设备的双电极静电卡盘的制作工艺在审
| 申请号： | 202210263323.4 | 申请日： | 2022-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN114649252A | 公开（公告）日： | 2022-06-21 |
| 发明（设计）人： | 张立祥;赵凯;顾众 | 申请（专利权）人： | 苏州众芯联电子材料有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/683 | 分类号： | H01L21/683;B32B9/02;B32B9/04;B32B15/00;B32B17/00 |
| 代理公司： | 苏州汇诚汇智专利代理事务所(普通合伙) 32623 | 代理人： | 庄米雪 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市吴中区甪直镇*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种用于LCD/OLED面板设备的双电极静电卡盘的制作工艺，包括以下步骤：S1、制作金属基板，并在所述金属基板上安装给电部；S2、在所述金属基材上用大气等离子熔射形成下电介质层；S3、在下电介质层上制作带有空隙的遮蔽层，制作遮蔽层使用的材料为水溶性的树脂；S4、通过大气等离子熔射在遮蔽层的空隙处形成电极层；S5、冲洗静电卡盘，清除遮蔽层；S6、在电极层上用大气等离子熔射形成上电介质层。采用本发明提供工艺，可以在长宽达3m以上的范围内比较方便能形成宽度和间隔在1mm左右的金属线，以形成双电极静电卡盘所需的电极层式样。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 lcd oled 面板 设备 电极 静电 卡盘 制作 工艺 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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