[发明专利]一种电化学电容器钽壳二氧化钌薄膜电极及其制备方法

摘要

本发明涉及一种电化学电容器钽壳二氧化钌薄膜电极及其制备方法，属于薄膜电极制备技术领域。该电化学电容器钽壳二氧化钌薄膜电极制备方法，依次采用喷砂、混合酸腐蚀及真空等离子修饰钽壳内壁基底；进一步采用旋转涂敷与高频加热组合工艺使前驱体溶胶均匀沉积在钽壳内壁表面，最后采用热分解法使前驱使体溶胶产生相变生成均匀RuO2薄膜活性层，获得了钽壳RuO2薄膜电极。该薄膜电极活性层厚度为9‑10μm且附着力为12MPa以上，比电容值为350Fg‑1以上，循环充放电次数为50000以上。因此，采用本工艺不仅能够增大钽壳薄膜电极的电容量，还能够提升储能器件的循环充放电稳定性。