[发明专利]提高反应腔流场稳定性的外延托盘及使用方法

摘要

本公开提供了一种提高反应腔流场稳定性的外延托盘及使用方法，属于外延生长技术领域。使外延托盘呈柱状且包括同轴相连的衬底放置柱与直径小于衬底放置柱的支撑柱。衬底放置柱的侧壁具有多个沿衬底放置柱的周向等距离间隔分布的缓冲凹槽，每个缓冲凹槽在第一表面所在平面上的投影均包括气流过渡弧线与气流缓冲弧线，气流过渡弧线的半径与弧长分别小于气流缓冲弧线的半径与弧长，气流缓冲弧线的半径小于衬底放置柱的弧长。配合支撑柱的侧壁的多个导向斜槽。导出大量携带有副产物和未反应完成的前驱体反应物的气流。反应腔边缘的副产物沉积的情况的缓解以及乱流的减少，均可提高反应腔内流场的稳定性。