[发明专利]紫外光探测器及制备方法在审

专利信息
申请号: 202210276225.4 申请日: 2022-03-21
公开(公告)号: CN114864732A 公开(公告)日: 2022-08-05
发明(设计)人: 刘兴钊;王思杰;任羿烜;令康 申请(专利权)人: 电子科技大学
主分类号: H01L31/109 分类号: H01L31/109;H01L31/18;H01L31/032;H01L31/0336;C23C14/04;C23C14/08;C23C14/18;C23C14/30;C23C14/35
代理公司: 成都惠迪专利事务所(普通合伙) 51215 代理人: 刘勋
地址: 610000 四川*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 紫外光探测器及制备方法,涉及电子信息材料与元器件技术。本发明的探测器包括设置于蓝宝石衬底上表面的NiO层,在NiO层的上表面设置有异质结区域和电极区;在异质结区域,由ZnGa2O4薄膜和NiO构成异质结,且ZnGa2O4薄膜上设置有电极;在电极区,设置有与NiO层直接连接的电极。本发明的紫外光探测器具有较低的暗电流和较快的光响应速度,同时可工作在20V外加偏压下,并且具有较高的灵敏度。
搜索关键词: 紫外光 探测器 制备 方法
【主权项】:
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