[发明专利]一种硅棒切磨一体机及硅棒切磨方法在审
申请号: | 202210277335.2 | 申请日: | 2022-03-10 |
公开(公告)号: | CN114589825A | 公开(公告)日: | 2022-06-07 |
发明(设计)人: | 金明来;聂凤军;周江辉;李建男;林旭;赵祥驰 | 申请(专利权)人: | 大连连城数控机器股份有限公司 |
主分类号: | B28D5/04 | 分类号: | B28D5/04;B28D7/04;B28D7/00;B28D7/02;B24B27/00;B24B41/06;B24B41/00 |
代理公司: | 北京易捷胜知识产权代理事务所(普通合伙) 11613 | 代理人: | 薛晓萌 |
地址: | 116036 辽宁省大连市甘井子区营*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | 本发明涉及晶硅加工技术领域,尤其涉及一种硅棒切磨一体机及硅棒切磨方法。该硅棒切磨一体机包括开方装置、上下料平台、磨床装置、底座及设置在底座上的框架,开方夹具和磨床夹具均设置在框架的滑轨上,开方夹具用于对待处理硅棒进行夹持并沿滑轨移动至开方机构的开方工作位,磨床夹具用于对经过开方后的硅棒进行夹持并沿滑轨移动至磨床机构的磨削工作位,上下料平台用于放置待处理硅棒、开方后的硅棒以及磨削后的硅棒,上下料平台能够使待处理硅棒和开方后的硅棒的中心线在同一轴线上。该硅棒切磨一体机提高了硅棒加工的效率,同时可以有效的降低二次装夹造成的磨削余量增加,进而降低了硅棒加工的成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 硅棒切磨 一体机 方法 | ||
【主权项】:
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