[发明专利]一种用于人工晶体炉的晶体冷却装置

摘要

一种用于人工晶体炉的晶体冷却装置，涉及人工晶体制备技术领域，本发明通过在上法兰（3）与下法兰（5）之间设有复数个晶体冷却管（7），在晶体冷却管的外围设有冷却介质通道，通过冷却介质对坩埚以上的空间形成低温区，即形成下高上低的温度梯度，同时还可以实现降低坩埚上方熔融硅液的温度，增加硅液的粘稠度，利于硅液跟随籽晶结晶，最主要的是还可以对硅芯进行冷却，进而提高硅芯的拉制速度，本发明在提高硅芯拉制速度的同时，还实现了多根硅芯的同时拉制等，本发明用于碎硅料同时拉制多根硅芯的装置时，有效的避免了碎硅料的资源浪费等，适合大范围的推广和应用。