[发明专利]PVD工艺腔装配辅助校准治具及方法有效
| 申请号： | 202210279659.X | 申请日： | 2022-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN114353618B | 公开（公告）日： | 2022-06-03 |
| 发明（设计）人： | 马保群;陈涛;崔世甲 | 申请（专利权）人： | 上海陛通半导体能源科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B5/00 | 分类号： | G01B5/00 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 卢炳琼 |
| 地址： | 201201 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种PVD工艺腔装配辅助校准治具及方法。治具包括校准杆梢和至少三组校准模块，校准杆梢的直径与治具中心设置的校准杆孔的孔径一致，使用过程中，至少三组校准模块相互接触，校准杆梢穿过校准杆孔并可插入至位于治具下方的待校准模块的圆心定位孔中；校准模块包括支撑部、校准结构和固定结构，校准结构与支撑部相连接，且可在支撑部上沿水平方向移动，固定结构与支撑部的一端相连接，校准结构包括升降杆，升降杆穿过支撑部，且可以在纵向升降。本发明可以在待校准模。块的安装过程中，辅助校准水平程度，确保安装与校准同步完成，且可实现中心精准定位，有助于提高腔体的制程工艺良率，且使用方便，有助于提高校准效率。 | ||
| 搜索关键词： | pvd 工艺 装配 辅助 校准 方法 | ||
【主权项】：
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