[发明专利]氮化镓器件及具有其的开关电源产品在审
| 申请号： | 202210295108.2 | 申请日： | 2022-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN114883398A | 公开（公告）日： | 2022-08-09 |
| 发明（设计）人： | 王祥;武占侠;洪海敏;刘飞飞;温雷;文豪;卜小松 | 申请（专利权）人： | 深圳智芯微电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/40 | 分类号： | H01L29/40;H01L29/778 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 邵泳城 |
| 地址： | 518017 广东省深圳市福田区福保街道福保*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提出了一种氮化镓器件及具有其的开关电源产品，该氮化镓器件包括：衬底；设置在所述衬底一侧的过渡层；设置于所述过渡层远离所述衬底一侧的缓冲层；设置于所述缓冲层远离所述过渡层一侧的沟道层；设置于所述沟道层远离所述缓冲层一侧的势垒层；设置于所述势垒层远离所述沟道层一侧的第一钝化层；设置于所述第一钝化层远离所述势垒层一侧的单层薄膜场板；设置于所述单层薄膜场板远离所述第一钝化层一侧的第二钝化层。由此，在第一钝化层和第二钝化层之间设置有单层薄膜场板，可以更好的调整电场分布，避免电场集中在栅极边缘或者金属场板的边缘区域；而且上述结构的氮化镓器件还能够在加工中降低成本，减少加工周期。 | ||
| 搜索关键词： | 氮化 器件 具有 开关电源 产品 | ||
【主权项】：
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