[发明专利]用于沉积系统的高流量多通活塞/阀在审
| 申请号： | 202210297617.9 | 申请日： | 2019-05-16 |
| 公开（公告）号： | CN114686958A | 公开（公告）日： | 2022-07-01 |
| 发明（设计）人： | 詹姆斯·艾萨克·福特纳;罗伯特·拉什;亚伦·贝尔克;冯敬斌 | 申请（专利权）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分类号： | C25D21/12 | 分类号： | C25D21/12;C25D7/12;F16K11/07;F16K27/04 |
| 代理公司： | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人： | 李献忠;张静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 与用于将膜沉积在晶片上的处理室一起使用的阀组件。阀主体围绕孔腔并包括入口、第一出口和第二出口，出口中的至少一者通向处理室内。活塞包括具有第一流动路径的第一区段和具有第二流动路径的第二区段。线性运动致动器适于与活塞耦合并控制活塞通过孔腔在第一位置和第二位置之间的线性运动。在第一位置中，活塞的第一区段与入口对齐，使得流体经由第一流动路径流至第一出口。在第二位置中，活塞的第二区段与入口对齐，使得流体经由第二流动路径流至第二出口。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 沉积 系统 流量 活塞 | ||
【主权项】：
暂无信息
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