[发明专利]气体供给装置、气体供给方法以及基板处理装置

摘要

本发明提供一种气体供给装置、气体供给方法以及基板处理装置，能够简易地抑制由于用于供给和切断气体的开闭阀的Cv值的变化引起的气体供给量的变动。气体供给装置具有：气体供给源，其供给气体；气体供给路径，其用于从气体供给源向处理空间供给气体；开闭阀，其设置于气体供给路径，用于供给和切断气体；检测单元，其检测与开闭阀的Cv值具有相关性的可检测的指标；开度调节机构，其调节开闭阀打开时的开度；以及控制部，存储开闭阀的Cv值与指标的关系，在该指标偏离与适当的Cv值对应的适当范围的情况下，所述控制部控制通过开度调节机构调节的开闭阀的开度，以使该指标成为适当范围。