[发明专利]基于WAT测试的晶圆良率数据处理方法和计算机设备在审
| 申请号： | 202210300082.6 | 申请日： | 2022-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN114398141A | 公开（公告）日： | 2022-04-26 |
| 发明（设计）人： | 杨文浩;刘永利 | 申请（专利权）人： | 杭州广立微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G06F9/451 | 分类号： | G06F9/451;G06F3/04842;G06F3/0488;G06T11/20 |
| 代理公司： | 杭州华进联浙知识产权代理有限公司 33250 | 代理人： | 周长梅 |
| 地址： | 310013 浙江省杭州市西*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种基于WAT测试的晶圆良率数据处理方法和计算机设备。方法包括：展示第一交互界面，第一交互界面包括多个WAT测试参数的可选择组件；响应于用户对可选择组件的选择，确定被选择的WAT测试参数对应的晶圆良率数据；根据晶圆良率数据，生成晶圆良率散点图，并在第一交互界面中显示晶圆良率散点图；晶圆良率散点图包括第一WAT拟合曲线和多个晶圆散点；晶圆良率散点图的横轴表示被选择的WAT测试参数对应的参数值，晶圆良率散点图的纵轴表示晶圆良率；第一WAT拟合曲线基于所述多个晶圆散点的良率数据拟合得到，用于表示被选择的WAT测试参数对应的参数值与所述晶圆良率之间的关系。采用本方法能够提高晶圆可接受度测试的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 wat 测试 晶圆良率 数据处理 方法 计算机 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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