[发明专利]一种晶圆良率数据的处理方法及装置有效
| 申请号： | 202210300083.0 | 申请日： | 2022-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN114397985B | 公开（公告）日： | 2022-07-12 |
| 发明（设计）人： | 杨文浩;邵康鹏 | 申请（专利权）人： | 杭州广立微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G06F3/0481 | 分类号： | G06F3/0481;G06F3/04847 |
| 代理公司： | 杭州华进联浙知识产权代理有限公司 33250 | 代理人： | 周长梅 |
| 地址： | 310013 浙江省杭州市西*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种晶圆良率数据处理的方法及装置，其中，所述方法包括：在数据可视化界面中展示主显示组件和至少一个从显示组件，其中，所述主显示组件包括可在多数据维度展示晶圆良率和/或良率相关参数趋势的图表组件；响应于用户在所述图表组件中至少一个数据维度的筛选操作，获取筛选后的数据范围；确定所述数据范围分别在所述主显示组件和所述至少一个从显示组件中对应的数据结果；根据所述数据结果分别调整所述主显示组件和所述至少一个从显示组件中的展示结果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶圆良率 数据 处理 方法 装置 | ||
【主权项】：
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