[发明专利]加料组件及具有其的单晶生长装置、加料方法有效
| 申请号： | 202210301704.7 | 申请日： | 2022-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN114686978B | 公开（公告）日： | 2023-05-30 |
| 发明（设计）人： | 陈俊宏 | 申请（专利权）人： | 中环领先（徐州）半导体材料有限公司;中环领先半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B27/02 | 分类号： | C30B27/02;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 徐章伟 |
| 地址： | 221004 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种加料组件及具有其的单晶生长装置、加料方法，单晶生长装置包括：炉体、坩埚以及加料组件，炉体内限定出炉室，坩埚设于炉室内，加料组件适于向坩埚内补充原料，加料组件包括：加料筒、导料件以及调节件，加料筒内形成容纳原料的容纳腔，容纳腔的朝向坩埚一侧形成开口，导料件可移动地设于容纳腔内，导料件朝向开口的表面形成为导料面，导料面与开口的内周壁之间限定出出料口，导料件具有关闭出料口的展开状态以及打开出料口的收合状态，调节件适于驱动导料件在展开状态和收合状态之间切换，以调节出料口的大小。根据本发明的加料组件，可以根据原料的大小尺寸控制原料的下落速度，从而减小加料过程中造成的熔汤飞溅以及液面振动。 | ||
| 搜索关键词： | 加料 组件 具有 生长 装置 方法 | ||
【主权项】：
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