[发明专利]一种碲锌镉单晶圆片制备工艺在审
| 申请号： | 202210310441.6 | 申请日： | 2022-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN114808134A | 公开（公告）日： | 2022-07-29 |
| 发明（设计）人： | 邓波浪;刘士军;李玉萍 | 申请（专利权）人： | 安徽承禹半导体材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/48 | 分类号： | C30B29/48;C30B15/00 |
| 代理公司： | 北京天盾知识产权代理有限公司 11421 | 代理人： | 张立娟 |
| 地址： | 233000 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种碲锌镉单晶圆片制备工艺，包括如下步骤：制备多晶棒、富碲合金；取一个石英管，在其内部放入籽晶，再依次放入上述得到的多晶棒、富碲合金；对石英管中放置富碲合金的区域施加不超过1000℃的高温；继续保温5‑100h后以0.02‑2mm/h的速度朝向籽晶一侧移动热源，直至热源高度低于步骤三的步骤三的最低端为止，同时待多晶棒与熔融的富碲合金熔体脱离后，以0.001‑1mm/min的速度向上提拉多晶棒；步骤五：降温，得到碲锌镉单晶晶棒；步骤六：对得到的碲锌镉单晶晶棒经切片、腐蚀、抛光和清洗处理，即得到所述碲锌镉单晶圆片。本发明实施例制备工艺过程简单，所需温度低，便于实施，得到的碲锌镉单晶圆片纯度高，因此应用价值高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 碲锌镉单晶圆片 制备 工艺 | ||
【主权项】：
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