[发明专利]一种晶圆检测实时对焦装置及方法在审
| 申请号： | 202210316118.X | 申请日： | 2022-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN114785941A | 公开（公告）日： | 2022-07-22 |
| 发明（设计）人： | 黄英俊 | 申请（专利权）人： | 上海谦视智能科技有限公司 |
| 主分类号： | H04N5/232 | 分类号： | H04N5/232;G01D21/00;G01B21/16;G01B21/32 |
| 代理公司： | 北京中仟知识产权代理事务所(普通合伙) 11825 | 代理人： | 李祥旗 |
| 地址： | 201600 上海市松*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种晶圆检测实时对焦装置及方法，其中，该装置包括：镜头模块、控制器和距离检测模块；其中，镜头模块和距离检测模块相对设置，镜头模块与距离检测模块之间留有放置晶圆的间隙；镜头模块用于拍摄晶圆检测表面的图像；距离检测模块用于检测晶圆背面的起伏变化信息，并将起伏变化信息传输到控制器；控制器用于根据接收到的起伏变化信息计算镜头模块的移动补偿量，并根据计算的移动补偿量向镜头模块发出移动控制信号；镜头模块还用于根据接收到的移动控制信号调整镜头与晶圆表面的距离。本发明能够在基于简单和低成本的镜头整体设计的情况下，确保镜头对焦的准确性和效果，有助于提高了晶圆表面检测的准确性和效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 检测 实时 对焦 装置 方法 | ||
【主权项】：
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