[发明专利]一种多模态柔性压力传感器及其制作方法在审
| 申请号： | 202210318303.2 | 申请日： | 2022-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN114577373A | 公开（公告）日： | 2022-06-03 |
| 发明（设计）人： | 范龙飞;朱四美;冯敬东;周震;其他发明人请求不公开姓名 | 申请（专利权）人： | 苏州能斯达电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/14 | 分类号： | G01L1/14;G01L1/16;G01L1/18;H05K1/16;H05K3/46;B29C65/48 |
| 代理公司： | 常州品益专利代理事务所(普通合伙) 32401 | 代理人： | 潘兵 |
| 地址： | 215123 江苏省苏州市苏州工业*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明属于传感器技术领域，具体涉及一种多模态柔性压力传感器及其制作方法，包括第一柔性基底、水平排列或垂直叠印在第一柔性基底上的压阻式柔性传感器、压电式柔性传感器和电容式柔性传感器；本发明的多模态柔性压力传感器能同时实现动态/静态力学信息的宽范围、宽频率、高灵敏检测，本发明的制作方法采用柔性增材制造技术一体化成型，克服了目前将压阻式传感器、压电式传感器和电容式传感器三个独立的拼接或贴附在一起的缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多模态 柔性 压力传感器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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