[发明专利]密封波纹管的漏率检测系统在审
| 申请号： | 202210318509.5 | 申请日： | 2022-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN114518204A | 公开（公告）日： | 2022-05-20 |
| 发明（设计）人： | 张新翌;陈景春 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G01M3/22 | 分类号： | G01M3/22 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;王婷 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请实施例提供了一种密封波纹管的漏率检测系统。该漏率检测系统的冷却腔室内形成有冷却腔，冷却装置与冷却腔室连接，用于调节冷却腔内的温度以模拟工艺腔室的工艺环境；冷却腔室上开设有多个连通口，用于使冷却腔能与密封波纹管的内部空间密封连通；检测腔室内形成有多个与连通口一一对应设置的容置腔，并且容置腔与连通口密封连接，容置腔用于容置并限位密封波纹管；检测抽气组件与冷却腔连通，用于对冷却腔抽真空，以及根据冷却腔内的检测气体含量，判断密封波纹管是否发生泄露。本申请实施例实现了对多个密封波纹管的批量检测，而且还能准确定位漏率不合格的密封波纹管。 | ||
| 搜索关键词： | 密封 波纹管 检测 系统 | ||
【主权项】：
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