[发明专利]微悬臂梁光纤加速度传感器机构有效
| 申请号： | 202210323204.3 | 申请日： | 2022-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN114778890B | 公开（公告）日： | 2023-06-20 |
| 发明（设计）人： | 廖韬;王晶;周次明;范超;苏新明;吴东亮;邓俊武;张子豪;王康;文晶;毕研强 | 申请（专利权）人： | 北京卫星环境工程研究所 |
| 主分类号： | G01P15/03 | 分类号： | G01P15/03;G01P1/00;G01D5/353 |
| 代理公司： | 北京志霖恒远知识产权代理有限公司 11435 | 代理人： | 郭栋梁 |
| 地址： | 100094 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请提供有一种微悬臂梁光纤加速度传感器机构，本方案中通过设计内部中空两段开口的载体，用于作为传感器的主体，用于承载第一光学元件和第二光学元件。同时，第一开口的一侧的外壁上设计沿第一方向的悬臂，用于承载振动机构。通过设计包括振片和配重的振动机构，可以使得当传感器机构收到惯性力作用时，通过配重带动振片进行振动。第二光学元件发射的光路经过第一光学元件，再经振片反射后经过第一光学元件将光路重新聚焦返回到第二光学元件中。最终通过干涉后进行光谱分析，得出F‑P腔长值，然后对比初始腔长值最终得出加速度值。 | ||
| 搜索关键词： | 悬臂梁 光纤 加速度 传感器 机构 | ||
【主权项】：
暂无信息
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