[发明专利]一种FeCoCr磁码盘薄膜材料及其制备方法和应用在审
| 申请号： | 202210337334.2 | 申请日： | 2022-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN114606471A | 公开（公告）日： | 2022-06-10 |
| 发明（设计）人： | 徐秀兰;刘锦涛;于广华;黄意雅 | 申请（专利权）人： | 季华实验室 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/16;C23C14/58;C22C30/00;G01D5/12 |
| 代理公司： | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人： | 孟洁 |
| 地址： | 528200 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种FeCoCr磁码盘薄膜材料，属于磁性材料技术领域，为多层膜结构，包括基底，以及在基底上依次制备的Bi掺杂的FeCoCr薄膜和保护层；其中，所述保护层用于防止Bi掺杂的FeCoCr薄膜被氧化。本发明还提供了一种FeCoCr磁码盘薄膜材料的制备方法和应用。本发明的FeCoCr磁码盘薄膜材料，通过控制Bi元素在FeCoCr薄膜中的掺杂量，可以对FeCrCo薄膜的矫顽力进行有效地调控，使得薄膜的矫顽力由不掺杂Bi时的457Oe，提升为掺Bi之后的930Oe，矫顽力增幅达100％以上，满足磁编码器码盘材料对矫顽力的实际应用需求。并且，本发明的FeCoCr磁码盘薄膜材料的制备方法，简单、控制方便、效率高且成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 fecocr 磁码盘 薄膜 材料 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
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