[发明专利]一种宽度可调的宽带束离子注入机在审
| 申请号： | 202210341801.9 | 申请日： | 2022-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN114783852A | 公开（公告）日： | 2022-07-22 |
| 发明（设计）人： | 欧欣;刘仁杰;彭强祥;林家杰 | 申请（专利权）人： | 浙江中科尚弘离子装备工程有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01J37/04;H01J37/141 |
| 代理公司： | 上海伯瑞杰知识产权代理有限公司 31227 | 代理人： | 汪文芹 |
| 地址： | 314100 浙江省嘉兴市嘉善*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提出一种宽度可调的宽带束离子注入机，包括离子束发生组件、离子束分析组件、离子束汇聚组件、离子束发散组件及离子束调节组件，离子束发生组件产生带状离子束，离子束分析组件与离子束发生组件配合，由离子束分析组件对离子束发生组件产生的离子束进行分析，离子束汇聚组件与离子束分析组件配合，由离子束汇聚组件对分析后的离子束进行分区汇聚，形成若干相互分离的离子束，离子束发散组件与离子束汇聚组件配合，由离子束发散组件对分区汇聚后的离子束进行发散，使相邻离子束相互交叠，离子束调节组件与离子束发散组件配合，由离子束调节组件将离子束发散组件发散后的离子束调节形成平行离子束，并对其宽度进行调节，以提升离子注入效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 宽度 可调 宽带 离子 注入 | ||
【主权项】：
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