[发明专利]基于虚拟光学层析技术高速解析物体表面形貌的系统在审
| 申请号： | 202210343084.3 | 申请日： | 2022-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN114739318A | 公开（公告）日： | 2022-07-12 |
| 发明（设计）人： | 王金玉;李俊;杜凯 | 申请（专利权）人： | 杭州今誉信息科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 北京沁优知识产权代理有限公司 11684 | 代理人： | 方仕杰 |
| 地址： | 310000 浙江省杭*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 基于虚拟光学层析技术高速解析物体表面形貌的系统，包括若干根光纤，光纤均连接有光纤开关，光纤开关控制每根光纤的数据传输通道的关断，光纤开关连接有准直仪，通过准直仪的光信号射到分束器中，分束器的下表面依次设置有参考表面和物体表面，参考表面上设有机械振荡器件，由机械振荡器件带动参考表面移动，通过分束器的光信号依次射到参考表面和物体表面上，再由参考表面和物体表面反射到物镜中，经过物镜的光信号传输至图像捕捉器件中，由图像捕捉器件获取物体表面的参数。本发明通过机械振荡器件求解单波长相位，采取虚拟光学层析技术来对物体表面的形貌进行高速解析，推导出物体的表面形貌，解决多值性的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 虚拟 光学 层析 技术 高速 解析 物体 表面 形貌 系统 | ||
【主权项】：
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