[发明专利]基于微环谐振腔的MOEMS三轴加速度传感器及其制备方法有效
| 申请号： | 202210344926.7 | 申请日： | 2022-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN114839397B | 公开（公告）日： | 2023-05-05 |
| 发明（设计）人： | 王融汇;孙成亮;蔡耀;范宇晨;刘炎;许秉乾 | 申请（专利权）人： | 武汉大学 |
| 主分类号： | G01P15/03 | 分类号： | G01P15/03;B81C1/00 |
| 代理公司： | 武汉科皓知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 42222 | 代理人： | 郑勤振 |
| 地址： | 430072 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 一种基于微环谐振腔的MOEMS三轴加速度传感器及其制备方法，涉及微光机电系统(MOEMS)中的惯性器件领域。该传感器包括含有空腔(20)的基底(10)，空腔(20)上表面为一层薄膜(30)；薄膜(30)下方附着有一个质量块(40)；顶层刻蚀有相互耦合的两组直波导(60)和四个微环谐振腔(50)，其中四个微环谐振腔(50)均位于空腔(20)上方的薄膜(30)上；直波导(60)则位于基底(10)上，每个直波导(60)具有一个入射端和两个出射端，每一个微环谐振腔(50)分别与一个出射端相耦合。该加速度计通过检测各个微环谐振腔谐振峰的改变来测量三个不同方向的加速度分量。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 谐振腔 moems 加速度 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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