[发明专利]籽晶的提拉机构及其使用方法有效
| 申请号： | 202210346375.8 | 申请日： | 2022-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN114574952B | 公开（公告）日： | 2023-07-28 |
| 发明（设计）人： | 陈俊宏 | 申请（专利权）人： | 中环领先（徐州）半导体材料有限公司;中环领先半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/30 | 分类号： | C30B15/30;C30B15/32 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 徐章伟 |
| 地址： | 221004 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种籽晶的提拉机构及其使用方法，所述提拉机构包括：籽晶夹，籽晶夹用于固定籽晶；软轴，软轴下端连接籽晶夹，软轴构造成能够牵引籽晶夹旋转和升降；限位组件，限位组件为一个或环绕籽晶夹分布的多个，每个限位组件位于籽晶夹的水平一侧，限位组件构造成能够升降和绕软轴的旋转轴线旋转；其中，限位组件包括限位件，限位件具有可切换的伸出位置和回缩位置，在伸出位置限位件与籽晶夹之间的距离为第一距离，在回缩位置限位件与籽晶夹之间的距离为第二距离，第二距离大于第一距离，限位组件能够在籽晶夹晃动时将限位件伸至伸出位置。本发明的提拉机构，能够快速稳定籽晶夹的晃动，减少对晶棒生长的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 籽晶 机构 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
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