[发明专利]一种干膜抗蚀剂、感光干膜和覆铜板在审
| 申请号： | 202210346902.5 | 申请日： | 2022-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN114660895A | 公开（公告）日： | 2022-06-24 |
| 发明（设计）人： | 袁丽;朱高华;吴佳丰;韩传龙;李伟杰 | 申请（专利权）人： | 杭州福斯特电子材料有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/027 | 分类号： | G03F7/027;G03F7/004;G03F7/031;G03F7/11;H05K3/02 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 金田蕴 |
| 地址： | 311300 浙江省杭州*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种干膜抗蚀剂、感光干膜和覆铜板。该干膜抗蚀剂包括碱可溶性树脂、光聚合单体、光引发剂和铜络合物，其中，铜络合物中与铜形成络合物的化合物包括氮杂环化合物，光聚合单体中含有EO链段和PO链段，EO链段表示氧亚乙基，PO链段表示氧亚丙基。干膜抗蚀剂中含有氮杂环化合物与铜形成的络合物和同时含有亲水基团环氧乙烷(EO)与疏水基团环氧丙烷(PO)的光聚合单体，改善了干膜在电镀过程中发生底部侧壁微翘起的现象，从而提升干膜抗蚀剂的耐电镀性能，能够得到具有均衡的显影性、解析能力和耐电镀性能的干膜抗蚀剂感光材料。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 干膜抗蚀剂 感光 铜板 | ||
【主权项】：
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