[发明专利]一种磨片后简易超声清洗设备在审
| 申请号： | 202210355340.0 | 申请日： | 2022-04-06 |
| 公开（公告）号： | CN114602886A | 公开（公告）日： | 2022-06-10 |
| 发明（设计）人： | 雍琪浩 | 申请（专利权）人： | 中环领先半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;B08B3/10;B08B13/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 苏州高专知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32474 | 代理人： | 冷泠 |
| 地址： | 214200 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种磨片后简易超声清洗设备，包括柜体，所述柜体的内部横向排布设置有清洗槽，所述清洗槽的底部皆设置有超声波振板，所述超声波振板的一侧皆设置有加热管，所述柜体的底部一固定安装有放置框。该一种磨片后简易超声清洗设备，通过利用超声波的高能量,使物质分子产生显著的声压作用,使得液体分子排列易发生断裂，液体分子断裂后,其内出现许多泡状的小空腔,这些空腔在极短的时间内闭合,同时产生巨大的瞬时压力，可使浮悬在液体中的固体表面受到急剧的破坏作用,而磨片的砂浆的颗粒粒径在8.6μm左右，根据此原理，将磨片后硅片通过超声的方式将硅片表面大颗粒砂浆清洗干净，减少磨片后清洗压力，提高硅片表面洁净度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 磨片后 简易 超声 清洗 设备 | ||
【主权项】：
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