[发明专利]一种在线测量光悬浮加速度传感器标度因数的方法在审
| 申请号： | 202210358465.9 | 申请日： | 2022-04-06 |
| 公开（公告）号： | CN114755457A | 公开（公告）日： | 2022-07-15 |
| 发明（设计）人： | 肖光宗;邝腾芳;熊威;韩翔;陈鑫麟;安辉;罗晖 | 申请（专利权）人： | 中国人民解放军国防科技大学 |
| 主分类号： | G01P21/00 | 分类号： | G01P21/00 |
| 代理公司： | 长沙正务联合知识产权代理事务所(普通合伙) 43252 | 代理人： | 郑隽;吴婷 |
| 地址： | 410073 湖*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明属于光学工程领域和精密测量技术领域，具体涉及一种在线测量光悬浮加速度传感器标度因数的方法。在光悬浮加速度传感器中，通过测量微粒的位移信息，再通过傅里叶变换获得微粒的谐振频率，从而获得加速度传感器的标度因数。该方法获取标度因数的速度与微粒位移采集的速度相当，因而可以实现高速在线测量标度因数。本发明无需测量刚度系数和微粒质量等参数，不需要进行实验标定，还具有结构简单、实用性强和适用范围广等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 在线 测量 悬浮 加速度 传感器 标度 因数 方法 | ||
【主权项】：
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