[发明专利]等离子体产生器、等离子体处理设备及电力脉冲供应方法在审
| 申请号： | 202210365643.0 | 申请日： | 2018-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN114709126A | 公开（公告）日： | 2022-07-05 |
| 发明（设计）人： | 夕巴斯汀·哈柏特斯·舒兹;汤玛斯·沛尔瑙;弗洛里安·那把尔;菲力克斯·华克 | 申请（专利权）人： | 商先创国际股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H05H1/46 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 王征;刘芳 |
| 地址： | 德国布劳博伊伦福特伯*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及等离子体产生器、等离子体处理设备及电力脉冲供应方法。等离子体产生器包括：控制单元，配置为获得及评估有关至少两个制程室中的制程的制程数据；具有输出的可控制的供电单元，配置为在其输出上以响应控制单元的控制信号的方式输出直流电；以及切换单元，具有用于各自与制程室中的一个连接的至少两个切换单元输出。切换单元配置为形成作为输出信号的交流电，且以响应控制信号的方式，将输出信号输出至切换单元输出中。控制单元配置为协调制程室的功率需求且驱动供电单元及切换单元，使得在各与制程室连接的切换单元输出上将与功率需求对应的功率在一时间段作为脉冲提供，各制程室的脉冲在时间上相互错开，使得制程室能够同步工作。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 产生器 处理 设备 电力 脉冲 供应 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于商先创国际股份有限公司，未经商先创国际股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202210365643.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
