[发明专利]一种石墨烯薄膜覆膜设备及其使用方法在审
申请号: | 202210372012.1 | 申请日: | 2022-04-09 |
公开(公告)号: | CN114783913A | 公开(公告)日: | 2022-07-22 |
发明(设计)人: | 付永亮;薄浩 | 申请(专利权)人: | 付永亮 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/677;H01L31/0216 |
代理公司: | 杭州寒武纪知识产权代理有限公司 33271 | 代理人: | 于金凤 |
地址: | 110094 辽宁省沈阳*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | 本发明涉及石墨烯技术领域,具体的说是一种石墨烯薄膜覆膜设备及其使用方法,包括台架、机台和输送带,所述机台固定连接在台架的顶端,所述输送带水平安装在机台的内腔,所述输送带的外壁等距安装有隔板,所述机台的左右两侧顶端分别固定连接有下料台和上料台,所述机台的前侧左端安装有驱动输送带工作的传动机构,所述机台的后侧左右两端分别固定连接有升降机构和气泵。太阳能光伏板上下料和定位存在连续性,实现流水线作业,省时省力,节省不必要浪费的时间,提高覆膜效率,可向石墨烯薄膜全面施加压力,无接触加压,避免了划伤石墨烯薄膜的问题,而且施压均匀,覆膜无空鼓,石墨烯太阳能光伏板使用效果得到保证。 | ||
搜索关键词: | 一种 石墨 薄膜 设备 及其 使用方法 | ||
【主权项】:
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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