[发明专利]电子级SF6有效

专利信息
申请号: 202210373285.8 申请日: 2022-04-11
公开(公告)号: CN114873568B 公开(公告)日: 2022-11-11
发明(设计)人: 刘志强;曾熙;邱玲;赖甜华;胡进军;张晓明;黄华华 申请(专利权)人: 福建德尔科技股份有限公司
主分类号: C01B17/45 分类号: C01B17/45
代理公司: 厦门原创专利事务所(普通合伙) 35101 代理人: 黄一敏
地址: 364204 福建省龙岩*** 国省代码: 福建;35
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摘要: 发明提供了一种电子级SF6精馏前处理系统,用于将SF6发生器产生并经过裂解塔裂解的SF6粗气进行水洗、碱洗、低压吸附以及高压吸附。其包括顺序串联的电子级SF6水洗装置、电子级SF6碱洗装置、电子级SF6低压吸附装置以及电子级SF6高压吸附装置;所述电子级SF6低压吸附装置包括多级串联的硅胶低压吸附塔以及多级串联的所述铝胶低压吸附塔;所述电子级SF6高压吸附装置包括顺序串联的隔膜压缩机、除油器、活性炭高压吸附塔、5A高压吸附塔、铝胶高压吸附塔、13X高压吸附塔以及F03高压吸附塔。在13X、F‑03分子筛前设置铝胶吸附去SF4,这样不仅可以降低S02、SO2F2对13X、F‑03分子筛的影响,还可以保证低硫氟化物均可除去。
搜索关键词: 电子 sf base sub
【主权项】:
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