[发明专利]MEMS黑体封装用的红外滤光片及其制备方法有效
| 申请号： | 202210381588.4 | 申请日： | 2022-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN114460677B | 公开（公告）日： | 2022-09-16 |
| 发明（设计）人： | 何虎;张杰;许晴;于海洋;颜斌;甘凯仙;平华;张敏敏 | 申请（专利权）人： | 翼捷安全设备（昆山）有限公司 |
| 主分类号： | G02B5/20 | 分类号： | G02B5/20;G02B1/115;C23C14/30;C23C14/26;C23C14/16;C23C14/06;C23C14/02 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 215325 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种MEMS黑体封装用的红外滤光片及其制备方法，其中，所述的红外滤光片包括基底材料和增透膜膜系结构，所述的增透膜膜系结构设置于所述的基底材料的两侧；所述的增透膜膜系结构为：Sub/0.26M1.34H0.92M1.65H1.33M1.27H1.87M0.67H3.3M 1.62M1.27L1.06M3.44L0.44M/Air，本发明的MEMS黑体封装用的红外滤光片，以高阻区熔单晶硅为基底的，在波长2.0～15μm范围内透射率T＞70%，其中2.5～12μm范围内透射率T＞85%的红外滤光片，可以满足NDIR红外气体传感器的需要，填补了市场空白。 | ||
| 搜索关键词： | mems 黑体 封装 红外 滤光 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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