[发明专利]一种硅片电阻率检测设备及方法在审
| 申请号： | 202210383100.1 | 申请日： | 2022-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN114942260A | 公开（公告）日： | 2022-08-26 |
| 发明（设计）人： | 屈婧逸 | 申请（专利权）人： | 屈婧逸 |
| 主分类号： | G01N27/04 | 分类号： | G01N27/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 102218 北京市昌平区东*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种硅片电阻率检测设备及方法，包括固定座，所述固定座顶部外壁的两侧均固定连接有固定柱，且两个固定柱的顶部外壁固定连接有顶板，所述顶板顶部外壁的两侧均设置有定位机构，且两个定位机构之间设置有固定板，所述固定板的底部外壁设置有第二升降机构，且第二升降机构的底部外壁设置有上电极片，所述固定座的顶部外壁设置有第一升降机构，且第一升降机构的顶部外壁设置有下电极片。本发明能够便于提高硅片电阻率检测的稳定性，防止由于振动导致硅片的位置发生偏移，从而对硅片电阻率的检测造成干扰，进而使检测的数据发生偏差，能够对硅片上粘附的灰尘进行清洁处理，防止灰尘粘附在硅片的表面对硅片电阻率的检测造成干扰。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 电阻率 检测 设备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于屈婧逸，未经屈婧逸许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202210383100.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
