[发明专利]一种组合式直热六硼化镧等离子体源有效
| 申请号： | 202210385801.9 | 申请日： | 2022-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN114727467B | 公开（公告）日： | 2023-06-16 |
| 发明（设计）人： | 张乔枫;谢锦林;陆全明;桑龙龙;金龙;杨发 | 申请（专利权）人： | 中国科学技术大学 |
| 主分类号： | H05H1/24 | 分类号： | H05H1/24 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人： | 李晓莉 |
| 地址： | 230026 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种组合式直热六硼化镧等离子体源，它包括模块化组成的六硼化镧发射体，由导电电极首尾相连；所述发射体下方为多层复合结构组成的热反射、隔热背板，四周由热反射、隔热侧板包围；所述导电电极与六硼化镧模块之间以柔性石墨纸填充导电，对六硼化镧直热式加热；所述背板下方安装隔热支撑架，用于等离子体源整体安装。本发明具有结构简单，易于加工，加热效率高，工作寿命长，能产生大范围等离子体环境的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 组合式 直热六硼化镧 等离子体 | ||
【主权项】：
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