[发明专利]一种晶圆装卸挂具设备在审
| 申请号： | 202210387473.6 | 申请日： | 2022-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN114908403A | 公开（公告）日： | 2022-08-16 |
| 发明（设计）人： | 何志刚;薛宽宽;刘建新 | 申请（专利权）人： | 上海戴丰科技有限公司 |
| 主分类号： | C25D17/08 | 分类号： | C25D17/08;C25D17/00;C25D21/12 |
| 代理公司： | 苏州所术专利商标代理事务所(普通合伙) 32473 | 代理人： | 孙兵 |
| 地址： | 201600 上海市松江区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种晶圆装卸挂具设备，包括主支架、后盖卸装单元、挂具夹持单元、晶圆顶出单元、密封圈吹扫机构和视觉检测机构，密封圈吹扫机构用于在挂具上晶圆被顶出后，对挂具上密封圈产生吹扫气流；视觉检测机构用于在挂具上晶圆被顶出后，采集挂具上密封圈图像并判定密封圈上是否有异物残留。采用本发明技术方案，在上一片晶圆电镀完成后、下一片晶圆安装前，能够及时清理挂具密封圈异物，确保晶圆与密封圈保持良好的密封性能，防止晶圆碎片发生和电镀液的渗漏，提升晶圆电镀镀层的均一性，提高挂具使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 装卸 设备 | ||
【主权项】：
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