[发明专利]一种薄膜表面沉铜用高稳定镀液及其制备方法在审

专利信息
申请号: 202210387563.5 申请日: 2022-04-14
公开(公告)号: CN114703469A 公开(公告)日: 2022-07-05
发明(设计)人: 姚玉 申请(专利权)人: 江苏矽智半导体科技有限公司
主分类号: C23C18/40 分类号: C23C18/40;C08G77/452
代理公司: 北京广溢知识产权代理有限公司 16001 代理人: 李枝玲
地址: 226000 江苏省南通*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种薄膜表面沉铜用高稳定镀液及其制备方法,涉及化学镀铜技术领域。本发明在制备薄膜表面沉铜用高稳定镀液时,先将丙烯酸甲酯和二乙烯三胺反应制得预聚体,将1‑氨基‑5‑己烯和预聚体进行初步聚合,再加入预聚体进行支化聚合制得超支化络合剂,将甲基二硅氧烷和八甲基环四硅氧烷反应制得单端含氢硅油,将超支化络合剂和单端含氢硅油反应制得改性超支化络合剂,将无水硫酸铜、甲醛、改性超支化络合剂、二甲苯、纯水、2,2'‑联吡啶和2‑巯基苯并噻唑混合,调节pH后制得薄膜表面沉铜用高稳定镀液。本发明制备的薄膜表面沉铜用高稳定镀液具有良好的稳定性和结合性。
搜索关键词: 一种 薄膜 表面 沉铜用高 稳定 及其 制备 方法
【主权项】:
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