[发明专利]一种N掺杂C膜的制备方法在审
申请号: | 202210389804.X | 申请日: | 2022-04-14 |
公开(公告)号: | CN114774846A | 公开(公告)日: | 2022-07-22 |
发明(设计)人: | 沈洪雪;汤永康;甘治平;李刚;王天齐;李钰涵 | 申请(专利权)人: | 中建材玻璃新材料研究院集团有限公司;玻璃新材料创新中心(安徽)有限公司 |
主分类号: | C23C14/02 | 分类号: | C23C14/02;C23C14/06;C23C14/35;C23C14/58 |
代理公司: | 安徽省蚌埠博源专利商标事务所(普通合伙) 34113 | 代理人: | 杨晋弘 |
地址: | 233010 安徽*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: |
本发明涉及一种N掺杂C膜的制备方法,其特征在于:(1)选择衬底材料,高纯石墨为溅射靶材,N |
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搜索关键词: | 一种 掺杂 制备 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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