[发明专利]一种用于太阳能电池的ZnS/Ag/WO3

摘要

本发明涉及一种用于太阳能电池的ZnS/Ag/WO3薄膜的制备方法，其特征在于：（1）选用普通玻璃为衬底材料；（2）用丙酮、酒精、去离子水依次对衬底材料进行超声清洗，热风吹干；（3）将衬底材料送入溅射腔室，开启磁控溅射设备，当真空度达1.0‑4.0*10‑4 Pa，通入氩气，启动靶材，进行预溅射；以金属钨，ZnS，Ag为溅射靶材，其中金属钨为高纯靶，ZnS为陶瓷靶材，三者互成45°交角；（4）预溅射完毕，独立设定各层的工艺参数，依次制得ZnS薄膜、Ag薄膜和WO3薄膜；（5）镀制完毕，关闭起辉电源，加热样品台至400‑500℃，对样品进行退火，冷却，取出即得ZnS/Ag/WO3薄膜。本发明优点：每个靶材工艺参数可独立设置，制备工艺简单，重复性好，ZnS/Ag/WO3薄膜应用于前电极，电池的转化效率明显提高。